Поиcк по сайту by Google


Rambler's Top100
Образование Крыму » Физика » Материаловедение в микроэлектронике - Палатник Л.С., Сорокин В.К.

Материаловедение в микроэлектронике - Палатник Л.С., Сорокин В.К.

Скачать
Название: Материаловедение в микроэлектронике
Автор: Палатник Л.С., Сорокин В.К.
Категория: Физика
Тип: Книга
Дата: 12.11.2008 21:44:38
Скачано: 249
Оценка:
Описание: В книге освещены основные вопросы материаловедения в области микроэлектроники. Рассматриваются поверхностные свойства полупроводников, металлов и диэлектриков, вопросы адсорбции на поверхности газов и паров, вопросы диффузии и приповерхностный слой примесей, а также методы нанесения и свойства пленочных материалов: проводящих, сверхпроводящих, магнитных, резистивных пленок и эпитакснальиых пленок кремния. Книга предназначена для широкого круга научных и инженерно-технических работников, а также может служить в качестве учебного пособия по теоретическим проблемам конструирования и производства микросхем для студентов и аспирантов вузов.
Файл: 4.20 МБ
Скачать